Chromatisch kodiertes Messsystem
Chromatische Aberration: Über einen
Messkopf wird weißes Licht auf die zu untersuchende Oberfläche projiziert.
Das
in den Messkopf reflektierte Licht wird von einem Spektrumanalysator analysiert.
Der Fokus des Lichtstrahles
liegt bei der Wellenlänge mit der höchsten
Intensität und daraus wiederum wird die Höhen- bzw. Profilinformation
abgeleitet.
Bei transparentem Material, dessen Dicke innerhalb des Messbereichs liegt,
ergeben sich zwei Intensitätsmaxima,
so dass gleichzeitig beide Oberflächen (die obere und die
untere) und somit die Dicke erfasst werden können
(mittels Zusatzsoftware).
Technische
Daten
Chromatischer Sensor
Typ
C 1 CS 3
CS 6
CS 30
CS 60
CS 100
Messbereich
[µm] 300
300
600
3000
6000 10.000
Messabstand
[mm] 4
4,5
6,5
20
40
75
Auflösung
vert.
[nm] 25
10
20
100
200 300
Messgenauigkeit
[%] 0,2
0,2
0,2
0,2
0,2
0,2
Messfleckdurchmesser
[µm] 9
5
4
12
16
25
Messrate
[kHz] 0,7
1/4*
1/4*
1/4*
1/4* 1/4*
*Die
max. Messrate von 1 kHz oder 4 kHz ist abhängig von dem verwendeten Controller
und der Lichtquelle (Halogen- oder Xenonlampe).
Für den mobilen Einsatz ist ein System entwickelt worden,
das auf verschiedenen Oberflächen schnell
und einfach platziert werden kann.
Als Messköpfe stehen die 300µm und 600µm Typen zur Verfügung,
Verfahrwege
sind 50x50mm oder 100x100mm.
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