Komplettsysteme
Die komplette
Anlage wird entsprechend den
Kundenanforderungen
mit dem jeweiligen Sensor aufgebaut.
Die Verfahrwege in
X- und Y-Richtung reichen dabei von 50mm
bis zu mehreren
Hundert Millimetern.
Technische Daten
Komplettanlage
Verfahrbereich
[mm]
50 x 50 mm bis 300 x 300 mm
Wiederholgenauigkeit
[µm]
0,5
Umkehrspiel
[µm]
< 3 µm
Geradheitsabweichung über 10mm
[µm]
< 0,2
Geradheitsabweichung über 50mm
[µm]
< 0,5
Verfahrgeschwindigkeit max.
[mm/sec]
50
Schrittweite
max.
[µm]
0,5
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