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Der konfokale Sensor arbeitet mit einem harmonisch schwingenden Abtastobjektiv. Ein punktförmiger Lichtstrahl
wird auf der Oberfläche des Messobjektes abgebildet und von dort durch das gleiche Objektiv auf einen Detektor
geleitet. Ist der Lichtstrahl auf der Oberfläche fokussiert ist die Leuchtdichte auf dem Detektor am höchsten. Mit
zunehmender Defokussierung nimmt auch die Leuchtdichte schnell ab. Eine Auswerteelektronik erfasst den 
Zeitpunkt des Signalmaximums und errechnet den entsprechenden Messwert.




                    


Technische Daten konfokaler Sensor:

                                                                             Sensor

Messbereich:                                [µm]                     1000
Auflösung vertikal:                         [nm]                     100
Reproduzierbarkeit:                       [nm]                     < 30
Arbeitsabstand:                            [mm]                     4
Messfleckdurchmesser:                 [µm]                     1,7
Neigungswinkel max.:                     [°]                       ± 30
Abtastrate max.:                          [kHz]                    1



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