Der
konfokale Sensor arbeitet mit einem
harmonisch schwingenden Abtastobjektiv. Ein punktförmiger Lichtstrahl
wird auf
der Oberfläche des Messobjektes abgebildet und von dort durch das gleiche
Objektiv auf einen Detektor
geleitet. Ist der Lichtstrahl auf der Oberfläche
fokussiert ist die Leuchtdichte auf dem Detektor am höchsten. Mit
zunehmender
Defokussierung nimmt auch die Leuchtdichte schnell ab. Eine Auswerteelektronik
erfasst den
Zeitpunkt des Signalmaximums und errechnet den entsprechenden
Messwert.
Technische
Daten konfokaler Sensor:
Sensor
Messbereich:
[µm] 1000
Auflösung vertikal:
[nm] 100
Reproduzierbarkeit:
[nm] <
30
Arbeitsabstand:
[mm]
4
Messfleckdurchmesser:
[µm] 1,7
Neigungswinkel max.:
[°] ± 30
Abtastrate max.:
[kHz] 1
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